低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。

水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：

（1 ）選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；

（2 ）裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；

（3 ）運用吸水性強的單調劑；

（4 ）運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。

油擴散泵真空系統污染與防治
油擴散泵真空系統是運用最普遍的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關，防止的辦法是：

（1 ）定期清洗真空室；

（2 ）定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。